미르테크 박정옥 대표가 본사(경기도 수원시)에서 직접 개발한 ‘반도체웨이퍼 리얼타임 100% 고속 전수검사 시스템’에 대해서 설명하고 있다.

반도체는 크게 전공정(웨이퍼가공)과 후공정(PKG)으로 분류된다. 특히 전공정인 웨이퍼 가공을 통해 얇은 기판 위에 직접회로가 탄생하고,미르테크반도체웨이퍼결함검사솔루션개발기업 은행 재무 제표 이 과정에서 다양한 웨이퍼 결함이 발생한다. 반도체 웨이퍼 제조 과정에서는 결함 검사를 할 수 있지만, 반도체는 특성상 전수검사가 불가해 샘플링 검사를 통해 다양한 결함을 찾아낸다. 이러한 이유로 작은 확률이지만 최종 소비자는 불량 제품을 만날 수도 있다.

이러한 점에 착안해 미르테크㈜의 박정옥 대표는 웨이퍼 결함을 실시간 고속으로 전수 검사할 수 있는 새로운 솔루션을 개발하고 혁신기술을 실현했다. 미르테크㈜는 SK하이닉스 Higarage를 통한 스타트업 벤처기업으로 박대표는 반도체 Inspection 기술의 전문가이다.

박대표는 “미르테크㈜ 제품의 핵심 기술은 기존 생산 장비 내부에 탑제하여 Inspection Step이 필요 없고 별도의 장비 설치 공간이 불필요하여 클린룸 공간 활용도를 높일 수 있을 뿐만 아니라 Process와 웨이퍼 검사까지 2가지 기능을 동시에 수행한다”며 “웨이퍼 검사도 Pre-Post검사로 공정 전(Pre) ·후(Post) 분석이 가능하여 공정 사고성 예방이 가능하다”고 밝혔다.

신기술 개발을 위해 박대표는 ‘소재·부품·장비 스타트업 100(이하 소부장) ’기업으로 선정돼 2억원의 사업화 자금과 기술 멘토링, 수요기업 연계 등을 지원 등을 받고 있다. 특히, 오픈이노베이션 행사를 통해 수요기업과의 미팅기회를 제공받아 제품 판로 확보에 많은 도움을 받았다. 현재 미르테크는 중소벤처기업진흥공단 (3억) 투자 유치에 성공을 하였고, 기타 VC로 부터 (4억) 투자금 확정된 상태이다.

30년간 계측장비 및 프로세스관련 업무를 한 박대표는 “어려운 경쟁에서 국책과제에 선정된 것은 미르테크㈜ 제품의 혁신성과 우수성이 입증된 것”이라며 “현재 반도체 검사장비의 90%가 해외업체에서 수입되지만 국내 국산 검사장비는 10% 미만으로 고가의 비용이 소요되고 있다”고 안타까움을 드러냈다.

그러면서 “미래의 4차산업에는 반도체가 필수적으로 최근에는 국가간 글로벌 패권 경쟁이 더욱 치열하다. 반도체 산업은 국가의 경쟁력으로 정부에서도 소부장과제를 지원하고 있어 해외 업체와 경쟁하여 장비의 국산화가 목표”라고 포부를 밝혔다.

한편 서울창조경제혁신센터가 주관하는 ‘소부장 스타트업 100’ 사업은 중소벤처기업부에서 2020년부터 소재·부품·장비 산업의 기술자립도 제고와 대·중견 기업의 수요 소재·부품에 대응할 수 있는 혁신적인 스타트업을 발굴 육성하기 위해 하는 사업으로 매년 20개사를 선발해 왔으며, 마지막해인 올해는 40개사를 선발하여 지원 중으로 올해를 마지막으로 100개 스타트업의 지원이 완료된다. 향후에는 초격차 스타트업 육성사업으로 이어질 전망이다.

서명수 기자 seo.myongsoo@joongang.co.kr